半導體微量光子檢測顯微鏡

簡要描述：半導體微量光子檢測顯微鏡
微光顯微鏡是捕獲半導體器件缺陷或失效點發射
微量光子的一種無損檢測設備。在電激勵作用下，電
子-空穴對或高能熱載子以光子的形式釋放出多余動
能。根據此原理，利用高增益低噪聲的相機就能精確
定位到缺陷位置。EMMI系統C主要適用于PN結漏電、氧化層崩潰、
靜電放電破壞、閂鎖效應、碰撞電離和雪崩擊穿等多
種物理場景。

產品分類

詳細介紹

品牌	其他品牌	產地類別	進口
應用領域	醫療衛生,化工,能源,電子/電池,航空航天

半導體微量光子檢測顯微鏡

產品特征參數

軟件圖像處理功能

8寸高壓手動氣浮探針臺

紫外、可見光、紅外顯微光學系統

2倍、5倍、10倍、20倍與50倍紅外物鏡

400 -1000 nm 或900-1700 nm響應波長

支持3000 V高壓偏置

相機與源表的一體化控制程序

應用方向

GaN與SiC 基功率器件

的漏電“熱點"定位

GaN基LEDs與結型探測

器的漏電“熱點"定位

Si基MOSFET與IGBT等功

率器件的漏電失效“熱

點"定位

GaAs基激光器光分布與

漏電“熱點"定位

常規的器件的靜態電學

參數測試。

相關系列有關于芯片失效與缺陷檢測都可以聯系我司，可看樣機測試

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